在芯片生产制造行业，半导体设备是必不可少的，除了大家熟悉的光刻机，还包括清洗机、离子注入机、抛光机、清洗机等等半导体设备都是这个市场的重要组成部分 。大家只知道ASML这家半导体设备公司制造的光刻机世界领先，可以生产7nm及以下的EUV光刻机 。但其实国产半导体设备也有很大的布局力度，并且再次传来了突破的好消息 。这次国产半导体设备有怎样的突破进展呢？国产半导体设
在芯片生产制造行业，半导体设备是必不可少的，除了大家熟悉的光刻机，还包括清洗机、离子注入机、抛光机、清洗机等等半导体设备都是这个市场的重要组成部分 。
大家只知道ASML这家半导体设备公司制造的光刻机世界领先，可以生产7nm及以下的EUV光刻机 。
但其实国产半导体设备也有很大的布局力度，并且再次传来了突破的好消息 。这次国产半导体设备有怎样的突破进展呢？国产半导体设备市场又具备怎样的潜力？
国产半导体设备再次突破
芯片制造是一个非常复杂的工业流程，如果说芯片设计看重的是工业软件，芯片架构技术的话，那么芯片制造就需要对半导体设备市场有很高的把控要求了 。
芯片制造过程中遇上的光刻、刻蚀、离子注入和清洗工艺等等都有对应的半导体设备负责生产 。其中最受瞩目的可能就是光刻步骤对应的光刻机 。
因为国际市场的原因，导致很多人关注到ASML光刻机的供应情况，这家公司的EUV光刻机不能向大陆客户出货，原因大家都明白 。虽然光刻机很重要，但也只是芯片制造过程中的一部分 。
而在其余的半导体设备领域，国产一直在努力，并取得了许多进展突破 。比如至纯科技的清洗设备完成了28nm认证，还有中国电科旗下的离子注入机实现全谱系的国产化突破，可对应28nm制程 。
这些国产半导体设备的突破案例比比皆是，但也许有人表示这才28nm制程，又不是最先进的工艺 。何止成熟工艺，国产半导体再次突破，这次是5nm 。
据4月7日消息显示，河南研究院研制出全自动12寸晶圆激光开槽设备，这台设备支持5nm DBG工艺，TAIKO超薄环切和激光开槽等功能 。
从介绍中大致可以了解到，这台半导体设备采用激光技术，并且支持各种类型的脉宽激光器 。
此次取得研究突破的生产团队，为国产开槽设备能够在5nm制程工艺范围内实现良好的超薄工艺处理能力，为国产半导体设备市场积累更高端，更自主的产业化优势 。
国产半导体设备市场需要不断积累这类研究成果，打造出自主可控的生产线 。5nm工艺已经是非常高端的技术了，目前为止国产半导体设备能够涉猎到5nm工艺程度的依然有限 。
除了此次取得突破的全自动12寸晶圆激光开槽设备，也包括中微半导体公司的刻蚀机设备 。更多的清洗设备，物理薄膜沉积以及光刻机还处在提升国产化率阶段，或者加速探索更高端先进的工艺技术 。做到5nm的无一不是行业翘楚的企业或顶级研究机构 。
国产半导体设备市场有何潜力？
国外发展芯片集成电路已有半个世纪以上的历史，英特尔，英伟达等老牌厂商是各自CPU，GPU领域的鼻祖 。
而这些世界领先的巨头相互扶持，打造行业超前的半导体设备 。比如ASML生产的EUV光刻机就是来自世界各国顶尖科技的集合，各类领先的半导体设备均出自国外供应商之手 。
不过将目光聚焦到国内，会发现也有许多半导体设备厂商不断加速，从主流领域到细分市场，几乎是全面布局，全力以赴 。那么国产半导体设备市场有何潜力呢？这就需要看国产半导体设备有哪些厂商参与攻克，并且取得怎样的实际进展 。
先看外界比较关注的光刻机，上海微电子是国内唯一能生产整机光刻机的厂商，在前道和后道都有布局 。前道光刻机注重光刻工艺，后道注重芯片封装 。
在前道光刻机领域上海微电子具备90nm成熟工艺量产实力，并曾传出要交付28nm浸润式光刻机的消息，但并未得到官宣 。至于后道光刻机，上海微电子已经实现国内首台2.5D/3D封装光刻机的交付，是国产光刻机的一大进步 。
另外在刻蚀机领域，中微半导体是全球顶级的刻蚀设备厂商之一，并且高端刻蚀机设备已经进入到台积电、长江存储、华虹宏力等晶圆制造商的生产线 。
清洗机方面，至纯科技、北方华创、盛美半导体等国产公司均掌握对应的核心技术 。其中北方华创的清洗设备已经供应中芯国际，是国内领先的清洗机设备市场核心供应商 。
这些还只是国产半导体设备市场的冰山一角，更多的供应商企业在细分零部件市场埋头研究 。华卓精科、国望光学、科益虹源等等都是国内领先的光刻机零部件生产制造商 。
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