关于最小缺陷简述 最小缺陷


关于最小缺陷简述 最小缺陷

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小伙伴们,你们好,小龙今天来谈谈以上最小缺陷,关于最小缺陷简述问题 , 那么下面分享给大家一起了解下吧 。
1、最小缺陷是指集成电路制造中光刻模块掩模版或者光刻芯片上有效图形区域内允许存在的最小缺陷尺寸。
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