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小伙伴们，你们好，小龙今天来谈谈以上等离子体化学气相沉积及刻蚀系统，关于等离子体化学气相沉积及刻蚀系统简述问题，那么下面分享给大家一起了解下吧 。
1、等离子体化学气相沉积及刻蚀系统是一种用于工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺试验仪器 。
2、于2016年9月23日启用 。
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