但是我们毕竟是单打独斗,是从零开始自己一步一步探索,所以,进度难免更慢 。
中国的目标,是要在2030年造出EUV极紫外光刻机,这是一条非常困难的路,但是我们也要努力克服,争取实现目标 。
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