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小伙伴们，你们好，小龙今天来谈谈以上电子束检测，关于电子束检测简述问题 ， 那么下面分享给大家一起了解下吧 。
1、电子束检测（Electrons Beam inspection，简称E-beam inspection、EBI），用于半导体元件的缺陷(defects)检验 。
2、以电性缺陷(Electrical defects)为主 ， 形状缺陷(Physical defects)次之 。
【关于电子束检测简述 电子束检测】文章到此就分享结束 ， 希望对大家有所帮助 。
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