关于活性反应离子镀技术简述 活性反应离子镀技术
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小伙伴们，你们好，小龙今天来谈谈以上活性反应离子镀技术，关于活性反应离子镀技术简述问题，那么下面分享给大家一起了解下吧 。
1、活性反应离子镀原理和设备结构简单 。
2、图一为活性反应离子镀膜机结构示意图 。
3、活性反应离子镀工艺过程 ， 工件经清洗入炉后抽真空 。
【关于活性反应离子镀技术简述 活性反应离子镀技术】4、当真空度达到6x10-3Pa后，开启烘烤加热电源，对工件进行加热 。
5、达到一定温度后通人氦气，真空度降至2~3Pa,接通工件偏压电源，电压调至1000V 。
6、此时产生辉光放电 ， 获得氦离子 。
7、氨离子在负偏压电场的作用下，对工件进行轰击净化 。
8、。
文章到此就分享结束，希望对大家有所帮助 。
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