文章插图
1、测量台、曝光台:是承载硅片*工作台 。
2、激光器:也就是光源 , 光刻机核心设备之一 。
3、光束矫正器:矫正光束入*方向,让激光束尽量平行 。
4、能量控制器:控制最终照*到硅片上*能量 , 曝光不足或过足都会严重影响成像质量 。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同*光束状态有不同*光学特* 。
6、遮光器:在不需要曝光*时候,阻止光束照*到硅片 。
7、能量探测器:检测光束最终入*能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整 。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图*玻璃板,贵*要数十万美元 。
9、掩膜台:承载掩模版运动*设备,运动控制精度是nm级* 。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小 。
11、硅片:用硅晶制成*圆片 。硅片有多种尺寸 , 尺寸越大 , 产率越高 。题外话,由于硅片是圆*,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片*坐标系,根据缺口*形状不同分为两种,分别叫flat、 notch 。
【光刻机工作原理】12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动*扰 , 并维持稳定*温度、压力 。
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