新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800
发布时间:8月31日
参考价格:200-400万元
JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”, 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪 。
JSM-IT800 有五种不同物镜版本:混合镜头版本 (HL),这是一种通用 FE-SEM;超级混合镜头版本(SHLs/SHL,功能不同的两个版本),可实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半透镜版本(i/is,两个不同功能的版本),适用于半导体器件的观察 。
半透镜通过在物镜下方形成的强磁场透镜会聚电子束来实现超高分辨率 。此外,该系统有效地收集从样品发射的低能量二次电子,并使用上部透镜内检测器 (UID) 检测电子 。因此,它可以对倾斜样品和横截面样品进行高分辨率观察和分析,这正是半导体器件故障分析所需的 。此外,它对于电压对比度观察也非常有用 。
聚束科技|高通量(场发射)扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS
高通量(场发射)扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS
发布时间:8月
参考价格:500-700万元
成像速度在同等条件下是同类机型的10倍以上,可在72小时内以4nm 像素完成对10x10 mm2 区域的无遗漏采集 。新机型在硬件部分模组提升较大,配备新型电子枪,电子束落点能量范围可达30keV,涵盖绝大多数扫描电镜落点能量需求范围 。分辨率可达1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速电压下即可获得1.5nm高分辨率的同时,仍能保持1‰以下的低图像畸变 。具备高度智能化,包括简单快捷全景光学导航、一键全自动换样、全景光学导航、实时聚焦追踪,可以实现全自动超大区域(100mm×100mm)全息地图集式拍摄,并绘制成全景地图式信息浏览 。
祺跃科技|原位高温扫描电镜
祺跃科技原位高温扫描电镜新品
【中国市场电镜新品汇总 电子显微镜价格】发布时间:10月14日
新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理,样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等,达到追求时序信息的目标 。本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等 。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等 。同时兼容EDX和EBSD等,还预留设置了多种通讯接口,为今后拓展更多原位技术留有余地 。
日本电子|钨灯丝扫描电镜升级产品JSM-IT510
钨灯丝扫描电子显微镜JSM-IT510
发布时间:11月8日
参考价格:130-200万元
为了满足基础研究、工业现场对更快获取结果数据等, JSM-IT510系列进一步提升了InTouchScope?的可操作性 。借助新增的Simple SEM功能,现在可以将日常工作 “交给”仪器 。主要特点包括:新型“Simple SEM”功能、最新型低真空二次电子探头 (LHSED)、 扫描电镜图像和能谱的一体化、实时立体三维图像、实时分析功能、新的导航放大功能、0 倍放大、显示X射线产生区域、SMILE VIEW? Lab管理软件等 。
Phenom|第二代肖特基场发射台式扫描电镜Phenom Pharos G2
飞纳台式场发射扫描电镜 Phenom Pharos G2
发布时间:11月24日
参考价格:200-300万元
Phenom Pharos G2, 集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体 。高亮度肖特基场发射电子源,使用户可以轻松获得高分辨率图像,且低电压性能优异 。Pharos G2分辨率提升至1.8nm,采用热场发射电子源,信噪比高,使用寿命长,保证长期稳定的性能 。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析 。
日立|全新场发射扫描电镜SU8600和SU8700
全新冷场发射扫描电镜SU8600(左)和热场发射扫描电镜SU8700(右)
发布时间:12月9日
参考价格:250-400万元
全新一代冷场发射扫描电镜SU8600不光保留了日立传统冷场电镜的优点,还采用了新型冷场电子枪,可选择更多种类的探测器,而且具有全新的自动数据获取功能,这些技术的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自动化性能都有了质的飞跃 。具体特点包括:强大自动化功能、成熟的电子光学系统、强大的图像显示和存储、简便的操作等 。
全新一代热场发射扫描电镜SU8700是一款集高分辨观察、高效率分析、自动化操作等特点于一身的扫描电镜 。全新的自动数据获取功能,电子光学系统,多探头检测系统等技术的加入使得SU8700的成像和分析能力有了质的飞跃 。具体特点包括:强大的自动化功能、全新的电子光学系统、高效的分析能力、丰富的样品适用性、简便的操作等 。
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