失效分析实验室 半导体工程师 2022-01-11 09:40电镜新品发布也迎来活跃一年，发布新品不仅低中高端产品基本覆盖，大部分主流品牌皆有输出，国产方面也多点开花 。
经历2020年疫情笼罩，2021年全球电镜市场规模回暖，规模再次以个位数速率增长，作为最大需求单一市场国家，中国则实现20%以上增长 。电镜新品发布也迎来活跃一年，发布新品不仅低、中、高端产品基本覆盖，大部分主流品牌皆有输出，国产方面也多点开花 。
以下对2021年在电镜新品进行盘点，数据主要统计自本网报道或公开信息，如有遗漏、错误欢迎在留言区补充或邮件（yanglz@instrument.com.cn ） 。
2021年电镜发布新品速览（按发布时间顺序）
类型
品牌
产品名称
型号
描述
SEM
蔡司
新一代Gemini场发射扫描电镜系列
GeminiSEM 360
GeminiSEM 460
GeminiSEM 560
高分辨，不挑样
日本电子
肖特基场发射电镜
JSM-IT800(i)/(is)
适用观测半导体器件
聚束科技
高通量(场发射）扫描电镜
Navigator-100B PLUS
国产高通量场发射升级款
祺跃科技
原位高温扫描电镜
-
国产原位高温
日本电子
新型扫描电子显微镜
JSM-IT510
钨灯丝电镜升级
Phenom
台式场发射扫描电镜
Phenom Pharos G2
分辨率提至1.8nm
日立
两款场发射扫描电子显微镜
SU8600
SU8700
聚焦自动获取大量数据功能
国仪量子
场发射扫描电镜
SEM5000
国产场发射扫描电镜
TEM
日本电子
新一代冷冻电镜
CRYO ARMTM 300II （JEM-3300）
速度、操作、通量全面升级
赛默飞
球差校正透射电镜
Spectra Ultra
适合电子束敏感材料的球差电镜
赛默飞
扫描透射电镜
Talos F200E
为半导体行业设计
纳镜鼎新
高通量生物扫透电镜
智眸365
(Smart View 365)
国产高通量生物扫描透射电镜
聚焦离子束显微镜
赛默飞
双束透射电镜
Helios 5 PXL Wafer DualBeam
半导体双束透射电镜
其他
日本电子
超微电子衍射平台
Synergy-ED
电镜-x射线衍射平台
赛默飞
定制球差校正电镜
Spectra φ
定制球差电镜
扫描电镜：11款齐发，9款场发射！
扫描电镜方面，场发射产品成为新品主流，蔡司和日立包揽5款场发射新品，日本电子发布场发射和钨灯丝升级产品，飞纳台式场发射电镜分辨率提升至1.8nm 。国产方面，聚束科技发布高通量场发射升级产品，国仪量子也加入场发射产品行列，祺跃科技则基于其原位力学技术，发布原位高温扫描电镜 。
蔡司|新一代Gemini场发射扫描电镜系列
Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560
发布时间：3月24日
参考价格：300-600万元
蔡司此次发布的GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560是Gemini电子光学系统也针对不同的应用场景衍生出的三款新型号 。
GeminiSEM 360搭载1型Gemini镜筒，是一款高通用性成像工具 。其物镜为静电透镜+磁透镜复合透镜，在提高其电子光学性能的同时将它们对样品的影响降至更低 。即使对极具挑战的样品也能进行高品质成像 。Beam booster技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比；Gemini镜筒内带有平行设计的镜筒内二次电子和背散射电子探测器，可实现信号的高效采集，同步获取形貌衬度和成分衬度像 。
GeminiSEM 460搭载2型Gemini镜筒，专为应对复杂的分析工作而设计 。它除了复合透镜和镜筒内加减速设计以外，利用双聚光镜设计实现更加灵活的束流调节 。用户可以在小束流的高分辨成像模式与大束流的分析模式之间进行无缝切换，对称设计的EDS接口可让您获得无阴影的成分分布图，而物镜无漏磁设计可以让您获得无畸变的大面积EBSD花样 。您还可以通过加装各种原位实验附件将Gemini 460升级为一个自动化原位实验平台 。
GeminiSEM 560搭载3型Gemini镜筒，带给用户极致的高分辨成像体验 。该款镜筒拥有两个可协同工作的电子光学系统：Nano-twin透镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot，可通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束会聚角，进一步提升分辨力；还可实现1倍到200万倍的无缝过渡，大视野导航和亚纳米成像一镜到底 。
日本电子|场发射电镜JSM-IT800半透镜版本(i)/(is)
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